日前，以色列計量/檢測設備公司Nova宣布了其先進的全方位門 計量產(chǎn)品組合為增強其市場領先的產(chǎn)品組合，公司正在推出多種先進的解決方案，這些解決方案具有獨特的能力，可應對下一代邏輯器件的制造挑戰(zhàn)

Nova總裁兼首席執(zhí)行官 Eitan Oppenhaim表示，Nova豐富且差異化的產(chǎn)品組合旨在應對下一代設備制造的挑戰(zhàn)除了具有挑戰(zhàn)性的設計之外，材料檢測正成為設備發(fā)展越來越重要的關鍵，我們在這一領域的加大投資為我們的客戶提供了獨特的互補價值我們市場領先的尺寸計量，突破性的材料計量組合以及最近增加的化學計量之間的協(xié)同作用進一步增強了這一點

根據(jù)公告，Nova 的補充產(chǎn)品使客戶能夠通過對幾何尺寸，物理材料特性和化學分析的更廣泛了解，更好地了解最復雜的半導體結(jié)構(gòu)整體解決方案已推向市場，并被主要客戶用于穩(wěn)定 GAA 工藝步驟并提高產(chǎn)量

Nova 豐富的下一代產(chǎn)品組合包括:

Nova PRISM通過平臺的光譜干涉 技術在關鍵應用中實現(xiàn)卓越的計量性能事實證明，SI 技術通過提供提高對弱目標參數(shù)的靈敏度的絕對相位信息，增加了當前傳統(tǒng)光學 CD 方法無法獲得的全新光譜信息維度，特別是新 GAA 設計規(guī)則中引入的復雜性所要求的

Nova i570是 Nova 用于大批量制造的頂級性能集成計量平臺，鞏固了 Nova 在該領域的領導地位該平臺提高了小型結(jié)構(gòu)和多層的整體在線測量能力

Nova METRION 將 SIMS 技術帶入大批量制造，在納米片制造中材料沉積的關鍵步驟中，以前僅限于實驗室環(huán)境的材料成分的深度剖面制造商必須嚴格控制材料在單個納米片上的濃度和均勻沉積

Nova ELIPSON 采用先進的拉曼光譜技術進行光學材料計量 ，以快速，無損的方式提取芯片內(nèi)結(jié)構(gòu)的材料特性ELIPSON 為下一代生產(chǎn)挑戰(zhàn)提供多種解決方案，包括整個過程中的應變形成和缺陷測量

Nova VERAFLEX IV是集成 X 射線熒光 的在線和芯片內(nèi) X 射線光電子能譜 的最新行業(yè)標準VERAFLEX IV 通過生成業(yè)界最高的 X 射線通量和解決復雜結(jié)構(gòu)所需的專有光學系統(tǒng)，對單層薄膜堆疊和摻雜劑濃度進行直接測量控制

所有平臺均由 Nova 的機器學習軟件套件Nova FIT 2.0 統(tǒng)一，這是公司最新的機器學習解決方案，由先進的算法和最先進的計算層提供支持。

在雙目立體視覺系統(tǒng)的支持下，nova9系列擁有單反級別的人像模糊效果。通過兩個前置鏡頭的配合，華為nova9系列拍攝的人像照片色彩過渡柔和自然，不僅還原了人像的臉型，膚色等細節(jié)，還清晰地捕捉到了頭發(fā)；同時，雙目立體視覺圖像引擎可以精確計算景深信息，呈現(xiàn)出專業(yè)級別的模糊效果。