，據(jù)媒體報(bào)道，本月3日，光刻機(jī)制造商阿斯麥位于德國(guó)柏林的一座工廠發(fā)生火災(zāi)，大火在當(dāng)晚被撲滅，沒(méi)有人員在火災(zāi)中受傷，阿斯麥隨后也宣布將對(duì)火災(zāi)的影響進(jìn)行評(píng)估，并對(duì)外公布相關(guān)的消息。

火災(zāi)影響的損壞評(píng)估仍在進(jìn)行中，但阿斯麥方面表示，從目前的情況來(lái)看，他們計(jì)量和檢測(cè)產(chǎn)品的產(chǎn)出計(jì)劃將不會(huì)受到影響，因?yàn)闆](méi)有相關(guān)的部件在柏林工廠生產(chǎn)。

雖然火災(zāi)未影響到計(jì)量和檢測(cè)產(chǎn)品部件的生產(chǎn)，但阿斯麥位于柏林的工廠，生產(chǎn)DUV和EUV光刻機(jī)的部分部件，這兩類(lèi)光刻機(jī)部分部件的生產(chǎn)，在火災(zāi)中都受到了影響。因此，世界各地生產(chǎn)先進(jìn)工藝的芯片代工企業(yè)都在試圖引進(jìn)EUV設(shè)備，這使得EUV的供應(yīng)非常緊張。

柏林工廠受火災(zāi)影響仍未恢復(fù)的，是EUV光刻機(jī)一個(gè)零部件的生產(chǎn)區(qū)域，恢復(fù)計(jì)劃仍在進(jìn)行中，他們已決定采取相關(guān)的措施，將對(duì)EUV光刻機(jī)客戶(hù)，產(chǎn)出計(jì)劃及服務(wù)的潛在影響降到最低。如果有需求，可以通過(guò)增加供給來(lái)平衡。。